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漢鐘HANBELL
HANBELL IPM系列漢鐘真空泵
HANBELL IPM系列漢鐘真空泵可廣泛用于Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant等。貝之特真空有授權(quán)代理，誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)，期待合作！
詳細(xì)介紹
HANBELL IPM系列漢鐘真空泵特點(diǎn)：
IPM系列漢鐘真空泵綠色制造、全新系列干式真空泵不僅體積小、耗功低，還大幅度降低成本，因此貝廣泛用于中度嚴(yán)苛制程的節(jié)能泵。
HANBELL IPM系列漢鐘真空泵配置參數(shù)
HANBELL IPM | 100 | 600 | |
DP size | m3/h | 100 | 100 |
Peak Speed | m3/h | / | 600 |
Ultimate Vac | m3/h | 100 | 600 |
Ultimate Vac | mTorr | 7.5 | 3.75 |
System Power at Ult. | KW | 0.7 | 1 |
Dimension- L | mm | 720 | 720 |
Dimension- w | mm | 340 | 340 |
Dimension- H | mm | 465 | 700 |
Noise | dB(A) | 65 | 65 |
Weight | Kg | 145 | 200 |
Inlet Connection | ISO | 63 | 80 |
Outlet Connection | NW | 25 | 25 |
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